MESA+ 纳米技术研究所的研究人员开发了一种工具，可以同时测量等离子体源的尺寸及其发出的光的颜色。“同时测量两者使我们能够进一步改进光刻机，以获得更小、更快和改进的芯片。” 这篇文章在Optics Letters中被突出显示为编辑精选。

光刻机是制造几乎所有电子设备所需的微芯片过程的核心。为了生产最小的芯片，这些机器需要精密设计的透镜、镜子和光源。XUV 光学助理教授 Muharrem Bayraktar 解释道：“传统上，我们只能观察产生的光量，但为了进一步改进芯片制造工艺，我们还想研究光的颜色及其光源的大小。”团体。

极紫外光由等离子源发射，该等离子源是通过将激光瞄准金属液滴而产生的。通过一组特殊的镜子，这种光瞄准硅晶片，以制造出可以想象到的最小的微芯片。“我们希望使等离子体尽可能小。太大，就会‘浪费’大量光线，因为镜子无法捕捉到所有光线，”Bayraktar 说。

除了尺寸之外，发射的颜色也很重要。“等离子体不仅发射极紫外光，还发射其他颜色的光，”Bayraktar 说。借助这个新工具，研究人员可以同时查看尺寸和颜色。这使得研究等离子体源的尺寸与其发出的光的颜色之间的关系成为可能。

对于这个新工具，研究人员结合使用了锥形波带片和透射光栅。两者均在 MESA+ 制作。锥形波带片是专门的光学元件，可操纵极紫外光以对等离子体源进行精确成像。透射光栅将光分散成各种颜色，从而可以单独测量它们。

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